二維掃描振鏡是一種優(yōu)良的矢量掃描器件,基本原理是通電線圈在磁場(chǎng)中產(chǎn)生力矩,但與旋轉(zhuǎn)電機(jī)不同,其轉(zhuǎn)子上通過機(jī)械紐簧或電子的方法加有復(fù)位力矩,大小與轉(zhuǎn)子偏離平衡位置的角度成正比。
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當(dāng)線圈通以一定的電流而轉(zhuǎn)子發(fā)生偏轉(zhuǎn)到一定的角度時(shí),電磁力矩與回復(fù)力矩大小相等,故不能像普通電機(jī)一樣旋轉(zhuǎn),只能偏轉(zhuǎn),偏轉(zhuǎn)角與電流成正比,與電流計(jì)一樣,故振鏡又叫電流計(jì)掃描器(galvanometric scanner)。
二維振鏡是通過X一Y軸電機(jī)帶動(dòng)反射鏡片偏轉(zhuǎn)來實(shí)現(xiàn)平面掃描的,一般應(yīng)用于較小的掃描面積,其掃描原理是通過控制電流的通斷來控制反射鏡片的偏轉(zhuǎn)角度,從而實(shí)現(xiàn)二維平面上的掃描。
二維振鏡在許多領(lǐng)域都有應(yīng)用,以下是一些主要的應(yīng)用場(chǎng)景:
光路干涉儀:二維振鏡可用于調(diào)節(jié)干涉儀的光路,實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度的提高。
醫(yī)學(xué)成像:在眼科領(lǐng)域中,利用二維振鏡可實(shí)現(xiàn)光束的精細(xì)控制,以便進(jìn)行眼底成像等操作。
激光打標(biāo):在激光打標(biāo)機(jī)中,利用二維振鏡可精準(zhǔn)控制激光束的位置及方向,從而實(shí)現(xiàn)高精度標(biāo)記。