二維振鏡是一種特殊的擺動(dòng)電機(jī),通常由兩個(gè)單軸振動(dòng)的振鏡組成,使用一對(duì)正交的光學(xué)軸向來(lái)控制指向不同方向的激光束的角度。
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二維振鏡和三維振鏡在結(jié)構(gòu)、功能和應(yīng)用上存在明顯的區(qū)別。
從結(jié)構(gòu)上看,二維振鏡主要由兩個(gè)單軸振動(dòng)的振鏡組成,即一個(gè)水平掃描振鏡(X軸振鏡)和一個(gè)垂直掃描振鏡(Y軸振鏡)。它通過(guò)X-Y軸電機(jī)帶動(dòng)反射鏡片偏轉(zhuǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)平面掃描。而三維振鏡,又稱(chēng)動(dòng)態(tài)聚焦激光振鏡掃描系統(tǒng),它在二維振鏡的基礎(chǔ)上增加了移動(dòng)鏡頭(Z軸執(zhí)行電機(jī)),這使得三維振鏡可以通過(guò)移動(dòng)鏡頭來(lái)調(diào)整光束直徑的大小,實(shí)現(xiàn)在線調(diào)焦。
從功能上看,二維振鏡主要用于平面掃描,通過(guò)控制激光束的方向和位置來(lái)實(shí)現(xiàn)材料切割、打標(biāo)、焊接等工藝。然而,由于二維振鏡投射到平面時(shí)存在離焦誤差,因此它通常用于小掃描面積的掃描。而三維振鏡則能夠滿足大幅面掃描場(chǎng)的使用,因?yàn)樗梢酝ㄟ^(guò)調(diào)整光束直徑的大小來(lái)適應(yīng)不同的掃描面積。
從應(yīng)用上看,二維振鏡因其高速、高精度、高可靠性等優(yōu)勢(shì),被廣泛應(yīng)用于多種光學(xué)儀器及設(shè)備中,如光路干涉儀、醫(yī)學(xué)成像、激光打標(biāo)等。而三維振鏡由于其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)和功能,主要在需要大幅面掃描的場(chǎng)合中使用,例如大成形面積的SLM設(shè)備就多選用三維振鏡系統(tǒng)。